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第215章 这还是人吗（第2页）

林曦月笑着摇摇头，也没有去打扰他们，开始跟严谨等人整理数据。

因为光刻机涉及到的零件实在太多，他们都是边研究边整理资料。

现在关于它内部的资料跟各种数据指标叠起来都有三十米高。

也幸好他们是边研究边整理资料，不然这些资料全部堆积在一起，有够他们磨的。

等罗甘他们稀罕够了，才舍得从光刻机身上离家。

“林院士？那咱们下一步...”

他双眼亮晶晶的看着林曦月问道，没等林曦月回答又接着说道：“是不是考虑生产的问题？”

一旁的徐院士同样点点头说道：“虽说光刻机出世，但是距离生产还有一段距离，这也是个大问题啊。”

光刻机的麻烦不仅在他的构造上，还有它的构造复杂所带来的生产方面的麻烦。

很多零件都需要十分高的精确度，在生产方面比较难，毕竟生产的机器就是一个问题。

所以在没有办法完成量产的情况之下，每一个零件都需要工程师去磨，那样子耗费太高。

林曦月放下手中的资料，朝他们招招手，带他们走到研究室更里面一点。

一进到里面，满墙的资料映入眼帘。

严谨跟曹育华两人不用林曦月指示，直接上手将相关资料放在桌面上让他们看。

徐院士一看到那一叠资料封面上的几个大字，像是明白了什么似的难以置信的看向林曦月。

她竟然将生产光刻机所需要的机器也设计出来了？

罗甘低头看向那叠资料，低声念道：“准分子激光器？”

林曦月笑着点点头，“嗯，这是准分子激光器的生产资料，光刻机需要体积小、功率高而稳定的光源，并且对于光源的波长也有所要求，这是准分子激光器的生产资料，能够生产出适合3nm光刻机的光源。”

徐院士震惊的翻着那堆资料，里面还真的是完整且相当详细的生产资料。

“你...将光刻机的生产机器都列出来了？”

这不仅是列出来了，还直接研究出来了，相当于直接把饭喂到嘴里，就问你吃不吃吧？

林曦月笑着摇摇头，光刻机的零件那么多，她怎么可能全部都研究一边。

“咱们也有光刻机的相关附属项目，我查了，那些项目有很多都是对光刻机的零件进行研究，所以有的零件我并没有列出来，只需要假意改装就可以。”

“那镜头你是怎么解决的？”

光刻机的镜片相当重要，高数值孔径的镜头决定了光刻机的分辨率以及套值误差能力。

何国那台最顶尖的光刻机里的镜头，是由光学领域在全球范围内最领先的Z公司供应。

华国在镜头方面的技术相对来说比较落后，这也是一个比较难以攻克的点。

林曦月朝曹育华招招手，“拿镜头的资料。”

徐院士听到这句话，用一副看鬼的模样看着依旧淡定的林曦月。

别跟他说，她连镜头的生产资料都准备好了？

这一次的资料尤其多，多到桌面上都放不下，还是严谨跟曹育华一起搬才搬得动。

徐院士看着那堆资料上面的几个大字，‘基于3nm光刻机光学镜头的生产’，陷入了沉思。

所以他们还真的将镜头的生产问题也给解决了？

这还是人吗...

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