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第231章 第四代光刻机（第1页）

第四代光刻机应该是个什么样子？应该具备那些参数？这些东西，此时都已经装在了赵烨的脑子里。

首先，光刻机，顾名思义，要有光。

光是激光，而能用于工业生产上的激光，也就是那么几个波段。目前来讲，赵烨他的应用的还是跟二十年前的一样的高压汞灯。

只不过这种灯也更新换代好几次了，提供的激光波长如今已经到了436nm。光源的波长，直接影响着芯片工艺的制程。

简单理解，这个波长就好比凿子的宽度，你想用一厘米宽的凿子，雕刻半厘米宽的线。这几乎是不可能的。

这里用几乎，当然就有特殊情况了。就比如赵烨他们搞得浸入式技术。在晶圆表层注入一毫米纯净水，利用水对光的折射，进而改变激光的波长。

这个技术，目前还是国内光刻机行业的绝密，所有接触和知道这项技术的人，不客气的讲，都在保密部门的监督下生活着，只不过他们自己不知道或者装作不知道而已。

说这些，是因为赵烨想要提高制程工艺，第一步要解决的就是光源的问题。

高压汞灯还能在进步几个波次，这项技术，还没有到达他的极限。

对于没有嚼干净味道的口香糖，赵烨是不会轻易吐掉的。所以第一个任务，就是攻克高压汞灯的极限。把436nm和365nm波长的激光，做到工业生产的级别。

有了波长436nm的光刻光源，赵烨就能把利华当前的制程工艺提升到800-1200nm之间。使得利华高端芯片的制程，全面进入纳米级别。

他的第二波次，是把制程进步到350-500nm。相应地要用到更短的波长，即365nm的光源。

而刚好436nm和365nm分别是高压汞灯中能量最高、波长最短的两个谱线。如此一来，不但能更高效的进行工业化生产，还能大大提高芯片的性能。

赵烨计划用这两个波次的高端芯片，直接冲击目前的芯片市场。只要两个波次的时间把握好了，赵烨有信心，就这么一下，市场上的光刻机生产商，最少得倒下一多半儿。

完善和研发成熟的高压汞灯这项任务，落到了近些年来，主攻激光灯泉教授头上。赵烨这次没有“吝啬”，该给的方案都给了众人。现在已经没有保留的必要了，他最新的方案，已经准备放弃汞灯的路线，开发全新的光源系统。

新的光源系统组，毫无意外的落到了欣然的头上。这个今年才24岁的小丫头，目前正在准备结婚。赵烨为此亲自找到慈教授，让他去做他孙子的工作。接下来的一到两年，他是不准备给欣然走出实验室的机会了。

“欣然，还有诸位，接下来，你们的新项目，是开发一种准分子激光，利用这种准分子激光，得到大功率的，能进行光刻的深紫外光。当前，你们的任务就是把这种激光做出来。做出来以后，我们再在其中，选出我们可以利用的波长。”说完，赵烨就开始给他的学生们发资料。

看着文件上的信息，就连欣然也感到头皮发麻。这种技术要求太高了，目前看来，就跟外星科技一样。

欣然只是震惊了一下，就赶紧收敛心神，认真的听赵烨讲解技术难点和细节设想。

在赵烨的讲解中，欣然等研究员，骇然的发现，赵烨这个导师已经把制程精度定在了350nm以下了。这意味着，他们要研发的光源波长，不能超过也300nm。事实也正如如此，赵烨给出的目标是两个波段的要求，248nm和193nm。

这个要求，已经达到他前世九十年代末和新世纪初的技术水平了。可想而知，在当下的八十年代初，各方面的理论基础都不完备的情况下，这个项目组要面临怎么样的困难。

不过这并没有让这帮研究员们气馁，因为他们也不是特别清楚这到底意味着什么。他们只知道的是，他们的导师回归一线了，他们又能愉快的攀爬技术高峰了。

这帮人对赵烨的信心，简直比赵烨对系统爸爸的信心还要足。

光源只是第一步，当然也是最重要的一步。没有这个基础，其他的东西想都不要想。

在给光源组布置好了任务以后，赵烨下一个目标就是透镜组。

此时赵烨他们应用的透镜，是川省一个光学仪器研究所的产品。在他们应用的光刻机上，这些透镜组有大大小小几十个，重量加起来绝对超过上千斤。

而即便是这样，赵烨依然又给出了更高的要求。透镜本身也是要消耗能量的，如果即能提高镜片的透光度，又能保证镜片研磨的平整度，还能减少对特定波长激光的损耗，就是摆在研究员和技师们面前最大的困难。

对于透镜组来讲，不单单是需要好学问的研究员，更加需要好手艺的技术工人。

就比如磨镜片，目前基本都是手工。就目前赵烨他们的要求来讲，对于直径三十厘米的镜片，平整度的误差范围是不高于三微米。

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