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韩松林却不知道谢逸云所虑,对于他来讲,才130纳米制程的光刻机是不够的。
要的,是10纳米,甚至更低的7纳米,乃至5纳米的光刻机。
至于说硅基芯片越来越多物理极限的事情,这并不是光刻机厂商应该考虑的事情。
硅基芯片到了物理极限,还有石墨烯芯片呢!
至于说什么时候石墨烯芯片能能够搞出来,甚至永远都搞不出来?
反正不急嘛,总是能够找到替代材料的。
不然搞量子计算机也可以的嘛。
“我们的目标,不仅仅是要追上国外,还得要超越。成为行业的领导者,当之无愧的霸主。”
谢逸云:“我们会努力的!”
接下来,又是去看SW2003。
SW2003依旧采用的深紫外光源,只不过这还只是一台原型机,想要正式的量产还有这不少的问题。
预计将在后年能够正式的量产。
SW2003光刻机是90纳米制程当今世界上最先进的光刻机之一。
SW2003光刻机是第四代步进时扫描投影光刻机,采用ArF光源,波长193nm,是当今世界的主流光刻机就在这个阶段。
“我记得,还有一种浸没式步进扫描投影光刻机,那研究得如何了?”
SW2003即使再怎么的研究,也就只能够到65纳米制程就没有办法再提升了。
而浸没式光刻机最高工艺节点能够到45-22纳米。
也就是说,22纳米继续往下走,就只能够EUV光刻机。
提出浸没式光刻机的人,可就在星达科技。
“预计在明年的时候,能够做出原型机,想要实现量产的话,估计得要到2005年才行。”说到这个,谢逸云相当的无奈。
光刻机越往下走,难度变得越发大了起来。
申微在EUV光刻机的研制上面也遇到了极其大的困难,可ASML可宣称要在明年的时候就推出EUV光刻机。
最新接到的情报,ASML公司在研制EUV光刻机上面也遭遇到了困难,明年推出EUV光刻机显然变得不现实。
可对于申微来说,压力依旧的是相当大。
韩松林轻轻的点了点头,2005年,并非说就等不起。
接下来,自然参观了车间。
“咦,这台是?”
“这是专门用于生产液晶显示屏的光刻机,出口到南韩喜星公司的。”
南韩乐喜金星公司,涉入化学能源、电子电器、通讯与服务等行业,是南韩的第二大集团。
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