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第247章 婚事定了（第2页）

王主任想想也是，“行了，我就当你长辈，没有问题吧？”

“求之不得”。

“那行，结婚的事，我替你张罗了，你就等着领证、接人、入洞房吧”。

王主任风风火火地走了。

李元看着她的背影，感觉他的青春也被她带走。

回到实验室，李元暂时放下这件事，把精力再次投入到工作中。

下一步就是晶圆氧化工序，这一步，李元要亲自上手。

首先，便是带着大家研究清洗液，目前最好获得的是酸、碱和酒精溶液。

三种溶液都能很好地去除晶圆表面的各种污染物，问题是都会对晶圆表面造成一定的腐蚀，影响后续工序。

通过反复实验和对比，选用了无水乙醇，相比上述两种，清洗强度差点，但是目前已经足够用。

清洗后，还需要一道清洗酒精的工序，直接使用蒸馏水冲洗。

然后直接放入氧化炉，开始氧化。

在技能书中提到了氧化的方法，共有两种：干法氧化和湿法氧化。

干法氧化，纯氧产生二氧化硅层，速度慢但氧化层薄而致密。

湿法氧化需同时使用氧气和高溶解度的水蒸气，其特点是生长速度快但保护层相对较厚且密度较低。

以当前的工艺，最多加工精度保持在毫米级，干法氧化意义不大。

故而选择相对经济实惠的湿法氧化。

当准备开始氧化时，才知道当初有多愚蠢，居然选择了真空炉。

当初只考虑了无尘效果，但是没有考虑氧化过程。

所以，最后的氧化炉抽真空功能成了摆设。

好在密封性好，可以作为氧化舱。

接下来便是开始摸索氧化工艺。

第一片晶圆氧化层太厚，不利于后期工序，第二片晶圆氧化层太薄。

直到第8片，才找到了最佳工艺。

固化工艺后，让黄燕验证一遍后，得到符合要求的晶圆。

至此，单晶棒制备、切割、抛光、氧化四大主要工艺流程已经固化。

重新修订设计图纸、设计文件、工艺流程，整理成册。

到此，就可以向用户提供高质量的晶圆，也可以转让技术。

中途，王主任带着他去了两次老丈人家。

过程较为顺利，不仅没有为难，还有一种赶快领走的感觉。

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